穿过（guò）电科装（zhuāng）备北（běi）京（jīng）烁科中科信公司制造中（zhōng）心的风淋（lín）系统（tǒng），整条离子注入机研制产（chǎn）线映（yìng）入眼帘，一台（tái）台设备完成装配调（diào）试后（hòu），输送至各集成电路先进产线，参与“中国芯（xīn）”制造。

　　北京烁科中科信（xìn）自成立之日起，就以攻克离（lí）子注入装备（bèi）关键（jiàn）技术瓶颈，支撑我国电子元器件制造工艺装（zhuāng）备自立自（zì）强为主责，以离子（zǐ）注入机装（zhuāng）备研发与产业（yè）化为主业，全力保障我国产业链供应链安全与（yǔ）稳定（dìng），成功入选第五批国家（jiā）级专（zhuān）精特新“小巨（jù）人”企业培（péi）育（yù）名单（dān）。

　　离子注（zhù）入（rù）机的（de）工作（zuò）原（yuán）理是通（tōng）过电磁（cí）场（chǎng）控制高速运（yùn）动（dòng）的离子，按照（zhào）工（gōng）艺要（yào）求以（yǐ）精准方式完成注入。概念虽（suī）仅有短短（duǎn）一句话（huà），但（dàn）其难度不亚于以飞机的速度一（yī）次成功地完成（chéng）侧方位停车（chē），因此，对离（lí）子（zǐ）注（zhù）入机的（de）综合性能要（yào）求（qiú）极为严格。

　　“设备研（yán）制毫（háo）无经（jīng）验可循，攻关（guān）过程是一场孤军奋战的（de）战役，纵是如此，我们也要一（yī）往无前。”离（lí）子注入机研发团队负（fù）责人表示。

从“0”到全系列

　　2003年，一群意气风发的青年（nián）变身“背包客”，坐上绿（lǜ）皮车远（yuǎn）赴他（tā）乡，扎根北京，投身（shēn）离子注入（rù）机事业（yè）。经历（lì）了“摸着石头过河”的艰（jiān）辛，突破（pò）了艰苦创业的困境，取得技术研发的成果。我国第一台（tái）国产中束流离子注入整机（jī）于2008年研制成功（gōng），实现从“0”到“1”的突破。

　　团队愈（yù）战（zhàn）愈勇，连续突破（pò）了离子源、离子束（shù）传输与控制等五大关键技术，攻克了离子注（zhù）入机的技术瓶（píng）颈，完成（chéng）了（le）第三（sān）代化合物半导体（tǐ）离子注入机及大束流离（lí）子注入机研（yán）制，2021年（nián），成功（gōng）将高能离子注入机（jī）交付产线，形成了（le）全系列国产离子注入机产品格局，实（shí）现国产离子注入装备的自主创新发展。

从（cóng）“0”到全覆（fù）盖

　　“28纳（nà）米（mǐ）几乎是（shì）注入工艺中最为经典、较为复杂的制程，也（yě）是注入工序中需求最多及生（shēng）命（mìng）周期（qī）最长的节点。”

       为保障（zhàng）我国集成电路产线需（xū）求，北京烁科中科信向28纳米工艺节点发（fā）起挑战，不仅要（yào）突破该节点，还（hái）要实现全系（xì）列产品（pǐn）工艺全覆盖（gài）。

　　“28纳米工艺对注（zhù）入角度、注入剂（jì）量精（jīng）度有严格要求，注入期间（jiān），设备软硬件要紧密配合，需根据不同注入区域实时对注（zhù）入（rù）剂量进行（háng）调整，稍有偏颇（pō），良率将达不到产线要求。”

　　由（yóu）于厂内设备（bèi）无法真实模拟出产线（xiàn）注片（piàn）环境，只能在客户端进行测试，攻关期（qī）间，工艺工程师和设备工（gōng）程师（shī）轮（lún）番24小时驻守客户端，只为将最新测试数据及时传（chuán）输，通过数（shù）据分析，对剂量（liàng）和角度进行一（yī）遍又一遍地调（diào）整。

　　现下，北京烁科（kē）中科信（xìn）中束流及大束流设备（bèi）均已达成工艺（yì）指标，且工（gōng）艺水准（zhǔn）经过了先（xiān）进（jìn）集（jí）成电路产线验证（zhèng），两（liǎng）种设备产线（xiàn）晶（jīng）圆制备累计超（chāo）过2000万片。高能离子注入机作为刚（gāng）上线不久的兆伏级设（shè）备同样打通（tōng）了（le）28纳米节点（diǎn），且与同类型设（shè）备相比，能量范围更宽、注入（rù）均一性能更好（hǎo）。

　　从仅（jǐn）有十余人的小组（zǔ），到如今人才济济的庞大团队，北京烁科（kē）中（zhōng）科信一往无（wú）前的（de）初心从未改变（biàn），正通过模（mó）组式（shì）交（jiāo）付方式让装备制造提速，以科学的科研体系使研发流程规范，通过（guò）与（yǔ）市场（chǎng）接轨提（tí）升装备品质，让更多电科制造的离子注入机服务（wù）于“中国（guó）芯”制造，切实保障我国集成电路制（zhì）造行业在成熟和（hé）先（xiān）进制程领域的生（shēng）产安全，为中（zhōng）国半（bàn）导体产（chǎn）业高速（sù）发展赋（fù）能。